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Dive into the research topics where Gutsche Martin is active.

Publication


Featured researches published by Gutsche Martin.


Archive | 2002

Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung und Verwendung einer Ionenstrahlanlage zur Durchführung des Verfahrens

Goebel Bernd; Mol Peter; Seidl Harald; Gutsche Martin


Archive | 2001

Apparatus for depositing layers having atomic thickness on a substrate used in the semiconductor industry has a chamber wall arranged between two chamber regions to separate the chamber regions

Hecht Thomas; Gutsche Martin; Seidl Harald; Leonhardt Matthias


Archive | 2001

Grabenkondensator mit Isolationskragen und entsprechendes Herstellungsverfahren

Seidl Harald; Gutsche Martin


Archive | 2004

Verfahren zur Strukturierung keramischer Schichten auf Halbleitersubstanzen mit unebener Topographie

Seidl Harald; Gutsche Martin; Hecht Thomas; Jakschik Stefan; Kudelka Stephan; Schroeder Uwe; Schmeide Matthias


Archive | 2001

Grabenkondensator einer DRAM-Speicherzelle mit metallischem Collarbereich und nicht-metallischer Leitungsbrücke zum Auswahltransistor

Sell Bernhard; Saenger Annette; Gutsche Martin; Seidl Harald; Alsmeier Johann


Archive | 2002

Trench capacitor used in semiconductor memory cell includes dielectric layer based on silicon nitride with subsequent thermal and chemical treatments

Seidl Harald; Gutsche Martin; Hecht Thomas; Leonhardt Matthias


Archive | 2001

Production of a structure in a substrate comprises forming a hard mask on the substrate, forming a structure of trenches in the substrate

Gutsche Martin


Archive | 2003

Speicherbaustein mit einer Speicherzelle mit Niedertemperatur-Schichten im Speichertrench und Herstellungsverfahren

Temmler Dietmar; Gutsche Martin; Popp Martin; Seidl Harald


Archive | 2001

Grabenkondensator und Verfahren zu seiner Herstellung

Luetzen Joern; Morgenschweis Anja; Gutsche Martin; Foerster Matthias


Archive | 2006

Anordnung von Kondensatoren zur Erhöhung der Speicherkapazität in einem Halbleitersubstrat und Verfahren zur Herstellung einer Anordnung

Gutsche Martin; Seidl Harald

Collaboration


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