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Martin Gerhardt

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Featured researches published by Martin Gerhardt.

Archive | 2005

Technique for transferring strain into a semiconductor region

Thorsten Kammler; Martin Gerhardt; Frank Wirbeleit

Archive | 2009

METHOD FOR FABRICATING A SEMICONDUCTOR DEVICE WITH SELF-ALIGNED STRESSOR AND EXTENSION REGIONS

Srikanteswara Dakshina Murthy; Martin Gerhardt

Archive | 2006

METHOD FOR FORMING ULTRA-SHALLOW HIGH QUALITY JUNCTIONS BY A COMBINATION OF SOLID PHASE EPITAXY AND LASER ANNEALING

Karsten Wieczorek; Thorsten Kammler; Thomas Feudel; Martin Gerhardt

Archive | 2007

ENHANCED STRESS TRANSFER IN AN INTERLAYER DIELECTRIC BY USING AN ADDITIONAL STRESS LAYER ABOVE A DUAL STRESS LINER IN A SEMICONDUCTOR DEVICE

Ralf Richter; Martin Gerhardt; Martin Mazur; Joerg Hohage

Archive | 2005

Methods for fabricating a CMOS device including silicide contacts

Martin Gerhardt; Igor Peidous

Archive | 2008

Verfahren zur Herstellung verformter Transistoren durch Verspannungskonservierung auf der Grundlage einer verspannten Implantationsmaske

Frank Wirbeleit; Roman Boschke; Martin Gerhardt

Archive | 2008

Verbesserter Verspannungsübertragungsmechanismus in einem Zwischenschichtdielektrikum unter Anwendung einer zusätzlichen Verspannungsschicht über einer Doppelverspannungsbeschichtung in einem Halbleiterbauelement

Ralf Richter; Martin Gerhardt; Martin Mazur; Jörg Hohage

Archive | 2008

Technik zur Verbesserung des Transistorleitungsverhaltens durch eine transistorspezifische Kontaktgestaltung

Martin Gerhardt; Ralf Richter; Thomas Feudel; Uwe Griebenow

Archive | 2008

Technik für die Verformungserzeugung in siliziumbasierten Transistoren durch Anwendung von Implantationstechniken zur Herstellung einer verformungsinduzierenden Schicht unter dem Kanalgebiet

Uwe Griebenow; Kai Frohberg; Martin Gerhardt

Archive | 2008

Verbesserte Verspannungsübertragung in einem Zwischenschichtdielektrikum durch Verwendung einer zusätzlichen Verspannungsschicht über einer Schicht mit dualer Verspannung in einem Halbleiterbauelement

Ralf Richter; Martin Gerhardt; Martin Mazur; Joerg Hohage

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Thorsten Kammler

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Frank Wirbeleit

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Thomas Feudel

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Uwe Griebenow

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Kai Frohberg

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Karsten Wieczorek

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Ralf Richter

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